真空解决方案118金宝博娱乐城

EUV、脱气、pump-time、稳定性和磁干扰是主要的参数被认为是在一个真空系统的布局。这是除了所有其他关键参数相关的运动一个完美的解决方案为您的要求环境和表演。

我们的系统是专门开发能够运行在分压下降到10 ^ 9 mbar从线性马达通过集成特定的组件(包括具体的屏蔽)piezzo-driven单位&特殊电缆。

所有相关机加工件(铝和/或SUS)产生内部为了保持清洁和除气的完全控制。

所有的真空系统组装、测试和包装在我们的洁净室,特别是制定fill-full生产节奏。

“真空”的典型规格POI *

• 配置:XYZ或+ Z(龙门架)
• 旅游:400 x 500毫米
• 准确性:≤10µm(在行动,映射)
• 可重复性:≤0,1µm
• 稳定性:≤2 nm(在1 s ptp)
• 移动和解决:< 120 ms 25毫米
• 中科速度:< 0.01% < 100 mm / s
• 平直度:< 5µm超过300毫米
• 平面度:< 20µm超过300毫米

HVH工业与制造商的专业的工程团队,以满足客户的需求和最高的质量标准。

如果你有任何问题,写我们通过即时聊天(我们的一个团队成员将回答你的问题),调用,或给我们一个报价请求。HVH团队总是乐于帮助你。

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